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      中科院微电子台式匀胶机/旋涂仪/涂胶机

      更新时间:2021-12-27

      简要描述:

      我研究室生产的KW型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。

      产品主要特点

      1、开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。

      2、转速在500~8000转/分范围内非常稳定。

      品牌其他品牌产地类别国产
      应用领域电子

      中国科学院微电子研究所 KW-4A型台式匀胶机/旋涂仪/涂胶机

      产品简介 

      我研究室生产的KW-4A型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。 

      产品主要特点 

      1、开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。 

      2、转速在500~8000转/分范围内非常稳定。   

      3、采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟。 

      4、具有定时功能。  

      5、测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速准确性高。  

      6、"吸片"采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,适合流水线的工艺,提高了效率。   

      7、在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音低。 

      性能指标:

      参数

      指标

      调速范围和匀胶时间

      Ⅰ档调速范围:500-2000转/分Ⅰ档匀胶时间:2-18秒

      Ⅱ档调速范围:1300-8000转/分Ⅱ档匀胶时间:3-60秒

      适用

      Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶

      电机功率

      40W

      LED数字显示

      转速稳定度:±1%,胶的均匀性:±3%

      真空泵抽气速率

      ≥60升/分

      仪器尺寸

      210×220×160mm

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