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      中科院微电子台式匀胶机/旋涂仪/涂胶机

      更新时间:2021-12-27

      简要描述:

      我研究室生产的KW型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型、KW-5型和KW-4T型。

      品牌其他品牌产地类别国产
      应用领域电子

      中国科学院微电子研究所 KW-4A型台式匀胶机/旋涂仪/涂胶机

      产品简介 

      我研究室生产的KW-4A、KW-4T型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型/KW-5型/KW-4T型。 

      技术参数及要求:
      基片尺寸: Φ 5 Φ 100mm 圆片,*大 100 × 100mm 2 方片
      转速: 25 0 9 000RPM
      旋涂设置:任意阶段之间均可任意升降调节
      转速稳定性: 1%
      旋涂均匀性: 1
      旋涂工艺阶段: 6 段
      旋涂时间:单步工艺 0 180 0s 可根据 客户需求 调节
      整机尺寸( 长宽高 210 mm × 2 8 0 mm × 248 mm
      裸机尺寸 长宽高 210 mm × 2 8 0 mm × 1 55mm
      电机功率: 40W
      适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各种材料
      配套 无油真空泵参数:
      型号: K W 550A/KW 550T
      抽速: 1 .5 升 秒
      功率: 3 20W
      噪音: 50db
      *低真空度: 700mmHg
      重量: 7.3 Kg
      尺寸 长宽高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽气速率: :>60L/min

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